東北大学?流体科学研究所?寒川教授グループはこの度、蛋白質を用いた自己組織化による金属微粒子テンプレート技術と超高精度微細加工技術として独自に開発した高効率低エネルギー中性粒子ビーム加工技術とを融合することでシリコン（Si）基板上およびガリウム砒素（GaAs）基板上に面密度が約1012cm-2で均一でしかも損傷のないサブ10nm量子ナノ円盤アレイ構造の作製に成功し、そのプロセス技術を確立いたしました。

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流体科学研究所　流体融合研究センター　知的ナノプロセス研究分野 　　　　　　

教授　寒川　誠二 　　　　　　

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