本年の米国真空学会におけるPlasma Prizeの受賞者に寒川教授が選出されました。

Plasma Prizeはプラズマ科学分野において世界的に傑出した貢献や研究業績に対して贈られる賞で、寒川教授の２０年に渡る米国真空学会での独創的で活発な研究活動が評価されたものであります。寒川教授はパルス時間変調プラズマや中性粒子ビーム、オンウエハーダメージモニタリングシステムの発明?提案などの「超低損傷プラズマプロセス」の実現において先駆的な仕事を行ってきております。Plasma Prizeの贈呈は今年で１１回目になりますが、日本人としては２人目の快挙であります。

授賞式は、米国?アルバカーキで行われる2010 AVS国際会議中の10/19にAztec conference roomで行われます。

[問い合わせ先]

流体科学研究所　流体融合センター　知的ナノプロセス研究分野

教授　寒川　誠二

TEL：022-217-5240　mail：samukawa*ifs.tohoku.ac.jp　（*を＠に置き換えてください）